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蔵書情報

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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

半導体・MEMSのための超臨界流体　　　　

著者名 近藤 英一(1962～)／編著
著者名ヨミ コンドウ エイイチ
出版者 コロナ社
出版年月 2012.9

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 請求番号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 県立図書館001001445293一般書549.8/ｺﾝ/自然５(54)館外可在庫  ○

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1001002082599
書誌種別 図書
書名 半導体・MEMSのための超臨界流体　　　　
著者名 近藤 英一(1962～)／編著 　 上野 和良／共著 　 内田 寛( 化学工学)／共著 　 曽根 正人(1968～)／共著 　 生津 英夫／共著 　 服部 毅／共著 　 堀 照夫(1946～)／共著 　 森口 誠／共著
著者名ヨミ コンドウ エイイチ　ウエノ カズヨシ　ウチダ ヒロシ　ソネ マサト　ナマツ ヒデオ　ハットリ タケシ　ホリ テルオ　モリグチ マコト
出版者 コロナ社
出版年月 2012.9
ページ数 227p
大きさ 21cm
ISBN 978-4-339-00837-1
分類記号９版 549.8
分類記号１０版 549.8
書名ヨミ ハンドウタイ メムス ノ タメ ノ チョウリンカイ リュウタイ
注記 文献:p212～222
内容紹介 内容紹介:気体と液体の性質を併せもつ超臨界流体の新しい応用の切り口を提供するテキスト。半導体・MEMSの製造プロセスと、乾燥、洗浄、堆積などの基本的なプロセスについて丁寧に解説する。
著者紹介 著者紹介:〈近藤英一〉早稲田大学大学院博士前期課程修了(資源および金属工学専攻)。川崎製鉄ハイテク研究所主任研究員、IMECエキスパート研究員などを経て、山梨大学教授。
件名1 半導体
件名2 マイクロマシン
件名3 超臨界流体
言語区分 日本語



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