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蔵書情報

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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

はじめての半導体製造装置  ビギナーズブックス 3   

著者名 前田 和夫/著
著者名ヨミ マエダ,カズオ
出版者 工業調査会
出版年月 1999.3


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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 請求番号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 県立図書館001000420792一般書549.8/マエ/閉架積層館外可在庫 

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1001000354436
書誌種別 図書
書名 はじめての半導体製造装置  ビギナーズブックス 3   
ビギナーズブックス
著者名 前田 和夫/著
著者名ヨミ マエダ,カズオ
出版者 工業調査会
出版年月 1999.3
ページ数 254p
大きさ 21cm
ISBN 4-7693-1169-9
分類記号9版 549.8
分類記号10版 549.8
書名ヨミ ハジメテ ノ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ
内容紹介 内容紹介:すべての産業の中で最も先端的ともいえる半導体製造。その進歩の歴史、基本技術や実際の製造工程を解説。半導体市場や技術との関係から半導体製造技術をより広い視野でとらえる。〈ソフトカバー〉
件名1 半導体
言語区分 日本語



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