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蔵書情報

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書誌情報サマリ

書名

はじめての半導体ナノプロセス　　ビギナーズブックス　32　　　

著者名 前田 和夫(1935～2008)／著
著者名ヨミ マエダ カズオ
出版者 工業調査会
出版年月 2004.2

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資料情報

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 請求番号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 県立図書館001000735710一般書549.8/ﾏｴ/閉架積層館外可在庫  ○

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1001001059467
書誌種別 図書
書名 はじめての半導体ナノプロセス　　ビギナーズブックス　32　　　
ビギナーズブックス
著者名 前田 和夫(1935～2008)／著
著者名ヨミ マエダ カズオ
出版者 工業調査会
出版年月 2004.2
ページ数 239p
大きさ 21cm
ISBN 4-7693-1225-3
分類記号９版 549.8
分類記号１０版 549.8
書名ヨミ ハジメテ ノ ハンドウタイ ナノプロセス
内容紹介 内容紹介:ナノテクノロジー時代の半導体プロセス技術について、これまでの技術の流れからどのような変革が行われようとしているかを具体的に解説。半導体デバイス、実装技術、測定・評価技術などの重要テーマの動向についてもふれる。
件名1 半導体
件名2 ナノテクノロジー
言語区分 日本語



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