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蔵書情報

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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

図解半導体製造装置開発の極意と実践　　　　

著者名 辻村 学／著
著者名ヨミ ツジムラ マナブ
出版者 工業調査会
出版年月 2008.12

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資料情報

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 請求番号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 県立図書館001001256369一般書549.8/ﾂｼﾞ/自然５(54)館外可在庫  ○

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1001001635927
書誌種別 図書
書名 図解半導体製造装置開発の極意と実践　　　　
副書名 開発型企業で生き抜くための手引書
著者名 辻村 学／著
著者名ヨミ ツジムラ マナブ
出版者 工業調査会
出版年月 2008.12
ページ数 188p
大きさ 21cm
ISBN 978-4-7693-1278-9
分類記号９版 549.8
分類記号１０版 549.8
書名ヨミ ズカイ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ カイハツ ノ ゴクイ ト ジッセン
副書名ヨミ カイハツガタ キギョウ デ イキヌク タメ ノ テビキショ
注記 文献:p185
内容紹介 内容紹介:半導体製造用装置の開発及び事業に携わってきた著者が、30年間の開発の歴史の中で実施した5つの革命技術や、開発の5つのルール、特許と論文の書き方などを伝授する。
件名1 半導体
言語区分 日本語



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