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蔵書情報

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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

レジスト材料　　高分子先端材料One Point　10　　　

著者名 伊藤 洋(1946～)／著
著者名ヨミ イトウ ヒロシ
出版者 共立出版
出版年月 2005.2

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資料情報

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 請求番号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 県立図書館001001172673一般書549.7/ｲﾄ/閉架積層館外可在庫  ○

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1001001180195
書誌種別 図書
書名 レジスト材料　　高分子先端材料One Point　10　　　
高分子先端材料One Point
著者名 伊藤 洋(1946～)／著
著者名ヨミ イトウ ヒロシ
出版者 共立出版
出版年月 2005.2
ページ数 104p
大きさ 19cm
ISBN 4-320-04372-3
分類記号９版 549.7
分類記号１０版 549.7
書名ヨミ レジスト ザイリョウ
内容紹介 内容紹介:高分子材料「レジスト」は、電子機器の高性能化、低価格化に革命をひき起こしている。半導体デバイス製作に使われるレジスト材料の歴史的発展、その化学とプロセスについて概観する。
著者紹介 著者紹介:〈伊藤洋〉東京大学工学系研究科博士課程修了。現在、IBMアルマデン研究所Research Staff Member。主に感光性高分子、レジストの開発研究、高分子合成に従事。
件名1 リソグラフィー
件名2 感光性樹脂
言語区分 日本語



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