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蔵書情報

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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

半導体のための真空技術入門　　　　

著者名 宇津木 勝(1954～)／著
著者名ヨミ ウツギ マサル
出版者 工業調査会
出版年月 2007.2

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資料情報

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 請求番号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 県立図書館001001242427一般書549.8/ｳﾂ/閉架積層館外可在庫  ○

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1001001423823
書誌種別 図書
書名 半導体のための真空技術入門　　　　
副書名 現場で役立つ基礎と応用
著者名 宇津木 勝(1954～)／著
著者名ヨミ ウツギ マサル
出版者 工業調査会
出版年月 2007.2
ページ数 219p
大きさ 21cm
ISBN 978-4-7693-1262-8
分類記号９版 549.8
分類記号１０版 549.8
書名ヨミ ハンドウタイ ノ タメ ノ シンクウ ギジュツ ニュウモン
副書名ヨミ ゲンバ デ ヤクダツ キソ ト オウヨウ
注記 文献:p213
内容紹介 内容紹介:半導体生産にはじめて携わる装置エンジニア、プロセスエンジニアのための入門書。半導体に関わる真空技術を、できるだけ数式を使わず、かつ論理的、体系的に解説し、用語の語源や由来の説明、計算ではその過程も示す。
著者紹介 著者紹介:〈宇津木勝〉1954年生まれ。アプライドマテリアルジャパン(株)勤務等を経て、(有)寺子屋みほ設立、取締役就任。半導体関連の技術教育およびコンサルタント業務を行う。
件名1 半導体
件名2 真空技術
言語区分 日本語



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