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蔵書情報

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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

はじめての半導体洗浄技術　　ビギナーズブックス　23　　　

著者名 小川 洋輝／著
著者名ヨミ オガワ ヒロキ
出版者 工業調査会
出版年月 2002.3

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 請求番号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 県立図書館001000690337一般書549.8/ｵｶﾞ/閉架積層館外可在庫  ○

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書誌詳細

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タイトルコード 1001000836148
書誌種別 図書
書名 はじめての半導体洗浄技術　　ビギナーズブックス　23　　　
ビギナーズブックス
著者名 小川 洋輝／著 　 堀池 靖浩(1941～)／著
著者名ヨミ オガワ ヒロキ　ホリイケ ヤスヒロ
出版者 工業調査会
出版年月 2002.3
ページ数 276p
大きさ 21cm
ISBN 4-7693-1212-1
分類記号９版 549.8
分類記号１０版 549.8
書名ヨミ ハジメテ ノ ハンドウタイ センジョウ ギジュツ
内容紹介 内容紹介:超LSIはクリーンネスとの闘いである。半導体洗浄技術の全貌について、技術の位置づけ、歴史、基礎的事項、具体的手法、評価法、今後の展望までを詳細に解説する。
件名1 半導体
件名2 洗浄法
言語区分 日本語



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