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蔵書情報

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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

プラズマ半導体プロセス工学　　　　

著者名 市川 幸美／共著
著者名ヨミ イチカワ ユキミ
出版者 内田老鶴圃
出版年月 2003.7

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資料情報

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 請求番号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 県立図書館001000661775一般書549.8/ｲﾁ/閉架積層館外可在庫  ○

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1001000999181
書誌種別 図書
書名 プラズマ半導体プロセス工学　　　　
副書名 成膜とエッチング入門
著者名 市川 幸美／共著 　 佐々木 敏明／共著 　 堤井 信力(1936～)／共著
著者名ヨミ イチカワ ユキミ　ササキ トシアキ　テイイ シンリキ
出版者 内田老鶴圃
出版年月 2003.7
ページ数 289p
大きさ 22cm
ISBN 4-7536-5048-0
分類記号９版 549.8
分類記号１０版 549.8
書名ヨミ プラズマ ハンドウタイ プロセス コウガク
副書名ヨミ セイマク ト エッチング ニュウモン
内容紹介 内容紹介:プラズマプロセスの基礎を学ぼうとする大学生や大学院生、あるいは企業や研究機関において半導体プロセスに携わる開発者や研究者を対象に、プラズマCVDとエッチング技術の基礎を整理、解説する。
件名1 半導体
件名2 プラズマ物理学
言語区分 日本語



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