検索結果書誌詳細

図書
ログインすると表紙画像を
ご覧になれます
  • 書誌の詳細です。 現在、予約しているのは 0 件です。
    配架場所が「閉架三丸書」と表示されている資料は、当館とは別の書庫に所蔵しているため、
    予約申込み後、資料が用意できるまで数日～１週間程度お時間をいただきます。
  • 「資料情報」から書誌を予約カートに入れるページに移動します。
この書誌情報へのリンク：

蔵書情報

この資料の蔵書に関する統計情報です。現在の所蔵数 在庫数 予約数などを確認できます。

所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

VLSIプロセス技術　　　　

著者名 小林 稔(1932～)／著
著者名ヨミ コバヤシ ミノル
版表示 第2版
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2002.3

この資料に対する操作

カートに入れる を押すと この資料を 予約する候補として予約カートに追加します。

いますぐ予約する を押すと 認証後この資料をすぐに予約します。

  

この資料に対する操作

電子書籍を読むを押すと 電子図書館に移動しこの資料の電子書籍を読むことができます。

マイ本棚へ追加ログインするとマイ本棚を利用できます。

資料情報

各蔵書資料に関する詳細情報です。

No. 所蔵館 資料番号 資料種別 請求番号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 県立図書館001000475200一般書549.7/ｺﾊﾞ/閉架積層館外可在庫  ○

関連資料

この資料に関連する資料を 同じ著者 出版年 分類 件名 受賞などの切り口でご紹介します。

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1001000836017
書誌種別 図書
書名 VLSIプロセス技術　　　　
副書名 高歩留りのための問題点とその解決
著者名 小林 稔(1932～)／著 　 中島 蕃／著 　 垂井 康夫(1929～)／監修
著者名ヨミ コバヤシ ミノル　ナカジマ シゲル　タルイ ヤスオ
版表示 第2版
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2002.3
ページ数 169p
大きさ 22cm
ISBN 4-526-04905-0
分類記号９版 549.7
分類記号１０版 549.7
書名ヨミ ヴイエルエスアイ プロセス ギジュツ
副書名ヨミ コウブドマリ ノ タメ ノ モンダイテン ト ソノ カイケツ
内容紹介 内容紹介:LSI製造プロセス開発で発生するプロセストラブルを主体に具体的事例を系統的に示すとともに、LSIの故障解析技術について現状も含めて解説。製造プロセス技術の評価と検討、後工程についても追加した、93年刊の第2版。
著者紹介 著者紹介:〈小林〉元日本電信電話会社、NEL勤務。工学博士。
件名1 集積回路
言語区分 日本語



内容細目

もどる
このページの先頭へ トップページへ

本文はここまでです。

ページの終わりです。