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蔵書情報

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書誌情報サマリ

書名

薄膜工学　　　　

著者名 日本学術振興会薄膜第131委員会／編集企画
著者名ヨミ ニホン ガクジュツ シンコウカイ ハクマク ダイヒャクサンジュウイチ イインカイ
版表示 第3版
出版者 丸善出版
出版年月 2016.11

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資料情報

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 請求番号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 県立図書館001001711769一般書549.8/ﾊｸ/閉架積層館外可在庫  ○

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1003000194188
書誌種別 図書
書名 薄膜工学　　　　
著者名 日本学術振興会薄膜第131委員会／編集企画 　 金原 粲／監修 　 吉田 貞史／編著 　 近藤 高志／編著
著者名ヨミ ニホン ガクジュツ シンコウカイ ハクマク ダイヒャクサンジュウイチ イインカイ　キンバラ アキラ　ヨシダ サダフミ　コンドウ タカシ
版表示 第3版
出版者 丸善出版
出版年月 2016.11
ページ数 10,302p
大きさ 21cm
ISBN 4-621-30098-5
ISBN 978-4-621-30098-5
分類記号９版 549.8
分類記号１０版 549.8
書名ヨミ ハクマク コウガク
内容紹介 薄膜分野に携わる研究者・技術者に最適な、基本技術の解説書。薄膜工学の基礎から、薄膜作製法、評価法、薄膜の機能と応用までをまとめる。近年広がりをみせる薄膜技術に対応するため、大幅な改訂を行った第3版。
件名1 薄膜
言語区分 日本語



内容細目

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