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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
No. |
所蔵館 |
資料番号 |
資料種別 |
請求番号 |
配架場所 |
帯出区分 |
状態 |
貸出
|
1 |
県立図書館 | 001001188521 | 一般書 | 549.8/コジ/ | 自然5(54) | 館外可 | 貸出中 |
× |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1001001602327 |
書誌種別 |
図書 |
書名 |
現場のスパッタリング薄膜Q&A |
副書名 |
反応性高速スパッタの実務アドバイス |
著者名 |
小島 啓安/著
|
著者名ヨミ |
コジマ ヒロヤス |
出版者 |
日刊工業新聞社
|
出版年月 |
2008.8 |
ページ数 |
384p |
大きさ |
21cm |
ISBN |
978-4-526-06119-6 |
分類記号9版 |
549.8 |
分類記号10版 |
549.8 |
書名ヨミ |
ゲンバ ノ スパッタリング ハクマク キュー アンド エー |
副書名ヨミ |
ハンノウセイ コウソク スパッタ ノ ジツム アドバイス |
注記 |
文献:p372~380 |
内容紹介 |
内容紹介:太陽電池や燃料電池などを作る際に役立つスパッタ技術。反応性高速スパッタに関する現場の悩み・疑問をQ&A形式で解説。実際にスパッタリングを使った薄膜作製の開発現場での失敗談も盛り込む。 |
著者紹介 |
著者紹介:〈小島啓安〉東京都立大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。キャノン、旭硝子、技術移転会社等を経て独立。スパッタリングプロセス、薄膜に関するコンサルタント会社(有)アーステックを設立。 |
件名1 |
薄膜
|
件名2 |
真空技術
|
言語区分 |
日本語 |
内容細目
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