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蔵書情報

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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術　　　　

出版者 エヌ・ティー・エス
出版年月 2012.7

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資料情報

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 請求番号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 県立図書館001001407525一般書549.8/ﾅﾉ/自然５(54)館外可在庫  ○

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1001002071466
書誌種別 図書
書名 ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術　　　　
副書名 成膜技術と膜・界面の物性科学
出版者 エヌ・ティー・エス
出版年月 2012.7
ページ数 338,11p 図版22p
大きさ 27cm
ISBN 978-4-86469-039-3
分類記号９版 549.8
分類記号１０版 549.8
書名ヨミ ナノエレクトロニクス ニ オケル ゼツエン チョウハクマク ギジュツ
副書名ヨミ セイマク ギジュツ ト マク カイメン ノ ブッセイ カガク
内容紹介 内容紹介:半導体市場拡大の鍵を握る絶縁膜の超薄膜化技術。ナノエレクトロニクスとして集積回路を主題に据え、集積回路における超薄膜化ニーズに関して説明を行う。
件名1 薄膜
件名2 絶縁・絶縁材料
件名3 ナノテクノロジー
言語区分 日本語



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