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蔵書情報

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書誌情報サマリ

書名

ドライプロセス表面処理大全　　技術大全シリーズ　　

著者名 関東学院大学材料・表面工学研究所／編
著者名ヨミ カントウ ガクイン ダイガク ザイリョウ ヒョウメン コウガク ケンキュウジョ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2019.3

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 請求番号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 県立図書館001001897535一般書566.7/ﾄﾞﾗ/自然５(56)館外可貸出中  ×

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書誌詳細

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タイトルコード 1003000429116
書誌種別 図書
書名 ドライプロセス表面処理大全　　技術大全シリーズ　　
技術大全シリーズ
著者名 関東学院大学材料・表面工学研究所／編
著者名ヨミ カントウ ガクイン ダイガク ザイリョウ ヒョウメン コウガク ケンキュウジョ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2019.3
ページ数 285p
大きさ 21cm
ISBN 4-526-07968-9
ISBN 978-4-526-07968-9
分類記号９版 566.7
分類記号１０版 566.7
書名ヨミ ドライ プロセス ヒョウメン ショリ タイゼン
内容紹介 真空や大気圧下で金属、無機化合物、有機化合物などの薄膜を形成する表面処理方法であるドライプロセス。真空技術や基板前処理などの基礎、PVD、CVD、エッチングなどの原理を解説し、応用例や最新技術等を紹介する。
件名1 金属表面処理
件名2 薄膜
言語区分 日本語



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