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蔵書情報

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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

トコトンやさしい超微細加工の本　　B&Tブックス　　

著者名 麻蒔 立男(1934～)／著
著者名ヨミ アサマキ タツオ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2004.1

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資料情報

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 請求番号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 県立図書館001000721280一般書549/ｱｻ/閉架積層館外可在庫  ○

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1001001056121
書誌種別 図書
書名 トコトンやさしい超微細加工の本　　B&Tブックス　　
B&Tブックス
著者名 麻蒔 立男(1934～)／著
著者名ヨミ アサマキ タツオ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2004.1
ページ数 159p
大きさ 21cm
ISBN 4-526-05226-4
分類記号９版 549
分類記号１０版 549
書名ヨミ トコトン ヤサシイ チョウビサイ カコウ ノ ホン
内容紹介 内容紹介:電子デバイスに欠かせないキーテクノロジーであり、ナノテクノロジーの中核技術として注目されている超微細加工について、半導体部品などへの適応を中心に、基礎を図解でやさしく解説する。
著者紹介 著者紹介:昭和9年愛知県生まれ。静岡大学工学部電子工学科卒業。日電バリアン(現、アネルバ)設立。同社取締役も務めた。現在、東京理科大学嘱託教授。著書に「真空の話」「薄膜作成の基礎」ほか。
件名1 電子工学
件名2 ナノテクノロジー
言語区分 日本語



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