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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
No. |
所蔵館 |
資料番号 |
資料種別 |
請求番号 |
配架場所 |
帯出区分 |
状態 |
貸出
|
1 |
県立図書館 | 001000917177 | 一般書 | 549.8/アサ/ | 閉架積層 | 館外可 | 在庫 |
○ |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1001001240048 |
書誌種別 |
図書 |
書名 |
薄膜作成の基礎 |
著者名 |
麻蒔 立男(1934~)/著
|
著者名ヨミ |
アサマキ タツオ |
版表示 |
第4版 |
出版者 |
日刊工業新聞社
|
出版年月 |
2005.7 |
ページ数 |
352p |
大きさ |
21cm |
ISBN |
4-526-05503-4 |
分類記号9版 |
549.8 |
分類記号10版 |
549.8 |
書名ヨミ |
ハクマク サクセイ ノ キソ |
内容紹介 |
内容紹介:前半では薄膜を作るために必要な真空技術を理解し、後半で薄膜を作るための技術を多数紹介する。96年刊に次ぐ第4版。 |
著者紹介 |
著者紹介:〈麻蒔立男〉昭和9年愛知県生まれ。現在東京理科大学工学部教授。著書に「真空のはなし」「超微細加工の基礎」など。 |
件名1 |
薄膜
|
件名2 |
真空技術
|
言語区分 |
日本語 |
内容細目
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