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蔵書情報

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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

薄膜工学　　　　

著者名 金原 粲(1933～)／監修
著者名ヨミ キンバラ アキラ
版表示 第2版
出版者 丸善出版
出版年月 2011.6

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資料情報

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 請求番号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 県立図書館001001324969一般書549.8/ﾊｸ/閉架積層館外可在庫  ○

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1001001940378
書誌種別 図書
書名 薄膜工学　　　　
著者名 金原 粲(1933～)／監修 　 吉田 貞史／編著 　 近藤 高志(1963～)／編著 　 日本学術振興会薄膜第131委員会／編集企画
著者名ヨミ キンバラ アキラ　ヨシダ サダフミ　コンドウ タカシ　ニホン ガクジュツ シンコウカイ ハクマク ダイヒャクサンジュウイチ イインカイ
版表示 第2版
出版者 丸善出版
出版年月 2011.6
ページ数 295p
大きさ 21cm
ISBN 978-4-621-08414-4
分類記号９版 549.8
分類記号１０版 549.8
書名ヨミ ハクマク コウガク
注記 初版:丸善 2003年刊
内容紹介 内容紹介:薄膜技術の基本事項から、微細加工技術を用いた2次元・3次元微細構造の導入や基板の大型化・高速化を可能にした装置技術、新しい薄膜作製手法、原子・分子スケールでの測定技術まで、分かりやすく解説する。
件名1 薄膜
言語区分 日本語



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