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蔵書情報

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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

薄膜化技術　　　　

著者名 和佐 清孝／著
著者名ヨミ ワサ,キヨタカ
版表示 第3版
出版者 共立出版
出版年月 2002.6

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資料情報

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 請求番号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 県立図書館001000508836一般書549.8/ﾜｻ/閉架積層館外可在庫  ○

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1001000865775
書誌種別 図書
書名 薄膜化技術　　　　
著者名 和佐 清孝／著 　 早川 茂／著
著者名ヨミ ワサ,キヨタカ　ハヤカワ,シゲル
版表示 第3版
出版者 共立出版
出版年月 2002.6
ページ数 316p
大きさ 22cm
ISBN 4-320-08613-9
分類記号９版 549.8
分類記号１０版 549.8
書名ヨミ ハクマクカ ギジュツ
注記 参考文献:各章末にあり。
内容紹介 内容紹介:原子スケールでの材料技術を特徴としている薄膜は、ナノスケール素材・デバイス形成の要素技術であり、エレクトロニクスや環境技術分野で重要である。基礎科学的視点を追加し、最新のデータを増補した、92年刊に次ぐ第3版。
著者紹介 著者紹介:〈和佐〉横浜市立大学理学部客員教授。共著に「強誘電性と高温超伝導」他。
件名1 薄膜
言語区分 日本語



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